Эш теориясе：

Мичне алдан сордырып, вакуум белән чистартып, аннары билгеләнгән температурага кадәр җылытып, нитридлау процессы өчен аммиакны тутыралар, аннары нитрид тирәнлегенә ирешү өчен берничә циклдан соң тагын бер тапкыр сордыралар һәм тутыралар.

Өстенлекләре:

Традицион газ нитридлары белән чагыштырыгыз. Вакуум җылытуда металл өслеген активлаштыру ярдәмендә вакуум нитридлары яхшырак адсорбция сәләтенә ия, бу процесс вакытын киметә, катылыкны арттыра,төгәлконтроль, газ куллану азрак, ак кушылма катламы тыгызрак.