Характеристикалары:

1) Нитридлау тизлеге тизрәк, нитридлау циклын тиешенчә кыскартырга мөмкин, һәм ионлы нитридлау вакытын газны нитридлау вакытының 1/3-2/3 өлешенә кадәр кыскартырга мөмкин.

2) Нитрид катламының сынучанлыгы аз, ә плазма нитридлары өслегендә барлыкка килгән ак катлам бик нечкә, хәтта бөтенләй юк. Моннан тыш, нитридлар катламы китергән деформация аз, бу аеруча катлаулы формалы төгәл детальләр өчен яраклы.

3) Энергия һәм аммиак куллануны саклап калырга мөмкин. Электр энергиясе куллану газны азотлауга караганда 1/2-1/5, ә аммиак куллану газны азотлауга караганда 1/5-1/20 тәшкил итә.

4) Нитридлауны җирле рәвештә гамәлгә ашыру җиңел, нитридлауны теләмәгән өлеш ялтыравык чыгармаса, нитридланмаган өлешне саклау җиңел, һәм ялтыравыкны механик экранлау һәм тимер пластина белән сакларга мөмкин.

5) Ион бомбардированиесе өслекне чистарта һәм пассивлаштыру пленкасын автоматик рәвештә бетерә ала. Дат басмас корыч һәм җылылыкка чыдам корычны алдан пассивлаштыру пленкасын алмыйча турыдан-туры нитридларга мөмкин.

6) Катнаш катлам структурасын, инфильтрация катламы калынлыгын һәм структурасын контрольдә тотарга мөмкин.

7) Эшкәртү температурасы диапазоны киң, һәм 350°C тан түбән температурада да билгеле бер калынлыкта нитрид катламы алырга мөмкин.

8) Хезмәт шартлары яхшыртылды. Пычранусыз һәм плазмалы нитридлаштыру бик түбән басым астында, бик аз чыгарылма газ белән башкарыла. Газ чыганагы - азот, водород һәм аммиак, һәм нигездә, зарарлы матдәләр чыгарылмый.

9) Аны барлык төр материалларга, шул исәптән дат басмас корыч, югары нитридлау температурасы булган җылылыкка чыдам корыч, корал корыч һәм түбән нитридлау температурасы булган төгәл детальләргә кулланырга мөмкин, ә түбән температурада нитридлау газ азотлавы өчен шактый авыр.