Эш теориясе：

Мичне вакуумга алдан суыртып, аннары температураны куяр өчен җылытып, нитридлаштыру процессы өчен аммиакны инфляцияләгез, аннары нитрид тирәнлегенә ирешү өчен берничә циклдан соң насос һәм яңадан инфляцияләгез.

Уңай яклары:

Традицион газ нитридинг белән чагыштырыгыз. Вакуум җылытуда металл өслекнең актив булуы белән вакуум нитридинг яхшырак adsorbsion куәтенә ия, азрак процесс вакытын, югары катылыкны,төгәлконтроль, аз газ куллану, тыгызрак ак кушылма катламы.