Вакуум карбуризациясе - эш кисәген вакуумда җылыту.Критик ноктадан югары температурага җиткәч, ул берникадәр вакыт торачак, оксид пленкасын дегасслый һәм чыгарачак, аннары карбюризация һәм диффузия өчен чистартылган карбюризация газында узачак.Вакуум карбуризациясенең карбюризация температурасы югары, 1030 up кадәр, һәм карбюризация тизлеге тиз.Карбуризацияләнгән өлешләрнең өслек активлыгы дегасслау һәм дезоксидлаштыру ярдәмендә яхшыра.Соңгы диффузия тизлеге бик югары.Карбюризация һәм диффузия кирәкле өслек концентрациясе һәм тирәнлеге җиткәнче кат-кат һәм чиратлашып башкарыла.
Вакуум карбуризация тирәнлеге һәм өслек концентрациясе контрольдә тотыла ала;Ул металл өлешләрнең өслек катламының металлургия үзлекләрен үзгәртә ала, һәм аның эффектив карбюризация тирәнлеге башка ысулларның карбюризация тирәнлегеннән тирәнрәк.