1. Уңайлык
Керамик һәм керамик, керамик һәм металл компонентларны яндыру кыен.Күпчелек эретеп ябыштыручы керамик өслектә туп ясыйлар.Керамиканы дымлый алырлык металл тутыргыч металл, усаллык вакытында уртак интерфейста төрле ватык кушылмалар (мәсәлән, карбидлар, силицидлар һәм өчьяклы яки күп функцияле кушылмалар) формалаштыру җиңел.Бу кушылмаларның булуы буынның механик үзлекләренә тәэсир итә.Моннан тыш, керамик, металл һәм эретеп ябыштыручылар арасында җылылык киңәйтү коэффициентларының зур аермасы аркасында, умыртка температурасы бүлмә температурасына кадәр суытылганнан соң, уртак стресс булырга мөмкин, бу уртак ярылуга китерергә мөмкин.
Керамик өслектә эретүченең дымлылыгы гомуми эретүчегә актив металл элементлар өстәп яхшырырга мөмкин;Түбән температура һәм кыска вакытлы усаллык интерфейс реакциясенең эффектын киметергә мөмкин;Буынның җылылык стрессы тиешле уртак форманы эшләп һәм бер яки күп катламлы металлны арадаш катлам итеп кулланып киметергә мөмкин.
2. Сатучы
Керамика һәм металл гадәттә вакуум мичендә яки водородта һәм аргон мичендә тоташтырылган.Гомуми характеристикаларга өстәп, вакуум электрон җайланмалар өчен тутыру металллары да махсус таләпләргә ия булырга тиеш.Мәсәлән, эретеп ябыштыручыларның югары парлы басым ясаучы элементлары булырга тиеш түгел, диэлектрик агып чыгу һәм җайланмаларның катод белән агулануына китермәс өчен.Гомумән алганда, җайланма эшләгәндә, эретүченең пар басымы 10-3падан артмаска, һәм югары парлы басым пычраклары 0,002% ~ 0,005% тан артмаска тиеш;Водородта утыру вакытында барлыкка килгән су парларын булдырмас өчен, эретеп ябыштыручы металлның таралышына китерергә мөмкин булган эретеп ябыштыручы w (o) 0,001% тан артмаска тиеш.Моннан тыш, эретүче чиста булырга һәм өслек оксидларыннан азат булырга тиеш.
Керамик металлизациядән соң бразинг ясаганда, бакыр, нигез, көмеш бакыр, алтын бакыр һәм башка эретеп ябыштыручы металл тутырырга мөмкин.
Керамика һәм металлларны турыдан-туры яндыру өчен, Ti һәм Zr актив элементлары булган бразинг тутыргыч металллар сайланырга тиеш.Бинар тутыргыч металллар, нигездә, Ti Cu һәм Ti Ni, алар 1100 at кулланырга мөмкин.Өченче эретүче арасында Ag Cu Ti (W) (TI) - иң еш кулланыла торган эретеп ябыштыручы, ул төрле керамика һәм металлны турыдан-туры утыру өчен кулланыла ала.Өченче тутыргыч металл фольга, порошок яки Ag Cu эвтектик тутыргыч металл белән Ti порошогы белән кулланылырга мөмкин.B-ti49be2 бразинг тутыргыч металл дат басмаган корычка һәм түбән пар басымына охшаш коррозиягә каршы тора.Аны вакуум мөһерләү буыннарында оксидлаштыру һәм агып чыгу каршылыгы белән сайлап була.Ti-v-cr эретеп ябыштыручыда эретү температурасы иң түбән (1620 ℃), w (V) 30% булганда, һәм Cr кушылуы эретү температурасы диапазонын эффектив киметә ала.Cr-булмаган B-ti47.5ta5 эретүче алумина һәм магний оксидын турыдан-туры утыру өчен кулланылган, һәм аның кушылмасы 1000 of тирә температурада эшли ала.14 нче таблицада керамик һәм металл арасында туры бәйләнеш өчен актив агым күрсәтелә.
Керамик һәм металл бразинг өчен 14-нче таблицада актив бразинг тутыргыч металл
2. Яна технология
Алдан металллаштырылган керамика югары чисталыклы инерт газында, водородта яки вакуум мохитендә булырга мөмкин.Вакуум бразинг, гадәттә, металлизациясез керамиканы турыдан-туры яндыру өчен кулланыла.
.
Surfaceир өстен чистартуның максаты - төп металл өслегендә май тапларын, тир тапларын һәм оксид пленкасын бетерү.Башта металл өлешләр һәм эретеп ябыштырылырга тиеш, аннары оксид пленкасы кислота яки алкалы юу белән чыгарыла, агып торган су белән юыла һәм киптерелә.Requirementsгары таләпләргә ия булган өлешләр вакуум мичтә яки водород мичендә җылылык белән эшкәртелергә тиеш (ион бомбардировщик ысулы да кулланылырга мөмкин), тиешле температурада һәм өлешләр өслеген чистарту өчен.Чистартылган өлешләр майлы әйберләр яки куллар белән кагылырга тиеш түгел.Алар шунда ук киләсе процесска яки киптергечкә кертелергә тиеш.Алар озак вакыт һавага тәэсир итмәячәкләр.Керамик өлешләр ацетон һәм УЗИ белән чистартылырга, агып торган су белән юылырга һәм ахыр чиктә ике тапкыр деонизацияләнгән су белән 15 минут кайнатылырга тиеш.
Паста каплау - керамик металлизациянең мөһим процессы.Каплау вакытында керамик өслеккә кисточка яки паста белән каплау машинасы белән металллаштыру өчен кулланыла.Катлам калынлыгы гадәттә 30 ~ 60 мм.Паста гадәттә саф металл порошогыннан (кайвакыт тиешле металл оксиды кушыла) якынча 1 ~ 5ум кисәкчәләр һәм органик ябыштыргыч белән әзерләнә.
Ябылган керамик өлешләр водород миченә җибәрелә һәм дымлы водород яки ярылган аммиак белән 1300 ~ 1500 at 30 ~ 60мин.Гидридлар белән капланган керамик өлешләр өчен, алар гидридларны черү өчен, 900 to кадәр җылытылачаклар һәм керамик өслектә металл каплау өчен керамик өслектә калган саф металл яки титан (яки цирконий) белән реакцияләнәләр.
Mo Mn металллаштырылган катлам өчен, аны эретүче белән дымландырыр өчен, 1,4 ~ 5ум никель катламы электропляцияләнергә яки никель порошогы катламы белән капланырга тиеш.Әгәр температура 1000 thanдан түбән булса, никель катламы водород мичендә алдан синтерланырга тиеш.Синтеринг температурасы һәм вакыты 1000 ℃ / 15 ~ 20мин.
Эшкәртелгән керамика - металл өлешләр, алар тотрыксыз корыч яки графит һәм керамик формалар белән тулысынча җыелачак.Сатучы буыннарга урнаштырылырга тиеш, һәм эш кисәге операция дәвамында чиста булырга тиеш, һәм куллар кагылмый.
Бозлау аргонда, водородта яки вакуум мичтә башкарылырга тиеш.Көтү температурасы умарта металлына бәйле.Керамик өлешләрнең ярылуына юл куймас өчен, суыту тизлеге бик тиз булырга тиеш түгел.Моннан тыш, бразинг билгеле бер басымны да кулланырга мөмкин (якынча 0,49 ~ 0.98мпа).
Surfaceир өслегенең сыйфатын тикшерүгә өстәп, эретелгән эретеп ябыштыручылар җылылык шокына һәм механик милекне тикшерергә тиеш.Вакуум җайланмалары өчен мөһерләү өлешләре шулай ук тиешле кагыйдәләр нигезендә сынау сынауларына дучар булырга тиеш.
)Компонент материалларының төрле җылылык киңәйтү коэффициентлары аркасында килеп чыккан ярыклардан саклану өчен, буфер катламы (металл катламнарның бер яки берничә катламы) эретеп ябыштырырга мөмкин.Ябыштыргыч тутыргыч металл ике эретеп ябыштыручы арасында кысылырга тиеш, яки бушлык мөмкин кадәр мөмкин кадәр бразинг тутыргыч металл белән тутырылган урында урнаштырылырга тиеш, аннары бразинг гади вакуум уты кебек башкарылачак.
Әгәр дә Ag Cu Ti эретүче турыдан-туры утыру өчен кулланылса, вакуум бразинг ысулы кабул ителергә тиеш.Мичтәге вакуум дәрәҗәсе 2,7 reached җиткәч, 10-3па җылыта башлагыз, һәм температура бу вакытта тиз күтәрелергә мөмкин;Температура эретүченең эрү ноктасына якын булганда, эретеп ябыштыруның барлык өлешләренең температурасы бер үк булсын өчен, температура әкрен күтәрелергә тиеш;Сатучы эреп беткәч, температура тиз температурада күтәреләчәк, тоту вакыты 3 ~ 5мин;Суыту вакытында ул 700 before алдыннан әкренләп суытылачак, һәм 700 afterдан соң мич белән табигый рәвештә суытыла ала.
Ti Cu актив эретеп ябыштырганда, эретеп ябыштыручы формасы Cu фольга плюс Ti порошогы яки Cu өлешләре плюс Ti фольга булырга мөмкин, яисә керамик өслек Ti порошогы һәм Cu фольга белән капланырга мөмкин.Көтү алдыннан барлык металл өлешләр вакуум белән деградацияләнергә тиеш.Кислородсыз бакырның бозылу температурасы 750 ~ 800 be булырга тиеш, һәм Ti, Nb, Ta һ.б. 900 at 15 минутта деградацияләнергә тиеш.Бу вакытта вакуум дәрәҗәсе 6,7 × 10-3Pa ким булмаска тиеш bra Бразинг вакытында эретеп ябыштырыла торган компонентларны җыегыз, вакуум мичендә 900 ~ 1120 to кадәр җылытыгыз, тоту вакыты 2 ~ 5мин.Бөтен усаллык процессында вакуум дәрәҗәсе 6,7 × 10-3Pa than ким булмаска тиеш.
Ti Ni ысулының усаллау процессы Ti Cu ысулына охшаган, һәм температура 900 ± 10 is.
3.Ул керамиканы керамика белән керамиканы металл белән тоташтыра ала.Оксид бразинг тутыргыч металллар, нигездә, Al2O3, Cao, Bao һәм MgOдан тора.B2O3, Y2O3 һәм ta2o3 өстәп, төрле эретү нокталары һәм сызыклы киңәйтү коэффициентлары булган бразинг тутыргыч металллар алырга мөмкин.Моннан тыш, CaF2 һәм NaF белән фторлы бразинг тутыргыч металллар, төп компонентлар буларак, керамика һәм металлларны тоташтыру өчен, көчле һәм югары җылылыкка каршы буыннарны алу өчен кулланылырга мөмкин.
Пост вакыты: 13-2022 июнь